{"product_id":"edwards-stp-a2203c2-turbomolecular-pump-2200-l-s-iso250f-inlet","title":"Edwards STP-A2203C2 Turbomolecular Pump  2200 L\/s  ISO250F Inlet","description":"\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eEdwards STP-A2203C2 Turbomolecular Pump | 2200 L\/s | ISO250F Inlet | Magnetically Levitated | Used | VSS\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eModel Number:\u003cspan\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/b\u003eSTP-A2203C2\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eCondition:\u003cspan\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/b\u003eUsed\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eProduct Description\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003eThe Edwards STP-A2203C2 is a high-throughput magnetically levitated turbomolecular pump engineered for the most demanding semiconductor process environments, including dry etch, CVD, sputtering, and ion implantation. Manufactured by Edwards Japan Limited (a Seiko Seiki OEM design), the STP-A2203C2 delivers a pumping speed of 2,200 L\/s for nitrogen and 1,700 L\/s for hydrogen, with an ultimate base pressure in the 10⁻⁸ Torr range after baking. The pump utilizes full magnetic levitation of the rotor assembly, eliminating mechanical bearing contact, oil lubrication, and associated contamination risk — a critical requirement for ultra-clean deposition and etch process chambers. The ISO250F inlet flange and KF40 outlet allow direct integration into standard tool vacuum architectures. The STP-A2203C2 operates in conjunction with the Edwards SCU-1600 controller, which provides I\/O remote interface, RS-232\/RS-485 communication, and full pump status monitoring, including start, normal, alarm, and brake states.\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003ePart Compatibility\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoListParagraph\" align=\"center\"\u003e•\u003cspan\u003e        \u003c\/span\u003eApplied Materials Centura Etch, Producer CVD, and Endura PVD Platforms\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoListParagraph\" align=\"center\"\u003e•\u003cspan\u003e        \u003c\/span\u003eLam Research Kiyo and Flex Etch Systems | Novellus CVD Tools\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoListParagraph\" align=\"center\"\u003e•\u003cspan\u003e        \u003c\/span\u003eTokyo Electron (TEL) Trias and Antares Etch \/ CVD Platforms | AMAT P5000 CVD\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003ePart Specification\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cdiv align=\"center\"\u003e\n\u003ctable class=\"MsoNormalTable\" border=\"1\" cellspacing=\"0\" cellpadding=\"0\" width=\"624\"\u003e\n\u003ctbody\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eManufacturer\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003eEdwards Japan Limited (Seiko Seiki OEM)\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eModel Number\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003eSTP-A2203C2\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eSerial Number\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e107012280\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eManufacturing Date\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003eOctober 2008\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eType\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003eMagnetically Levitated Turbomolecular Pump\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003ePumping Speed (N2)\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e2,200 L\/s\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003ePumping Speed (H2)\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e1,700 L\/s\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eCompression Ratio (N2)\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u0026gt; 10⁸\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eCompression Ratio (H2)\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e2.5 × 10⁴\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eUltimate Pressure\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e10⁻⁶ Pa (10⁻⁸ Torr order, after baking)\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eMax Continuous Flow Rate (N2)\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e1,500 sccm\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eMax Backing Pressure\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e400 Pa (3 Torr)\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eRated Speed\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e27,000 rpm\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eAllowable Speed Range\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e13,500 – 27,000 rpm\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eStarting Time\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003eApprox. 7 Minutes\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eInlet Flange\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003eISO250F\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eOutlet Flange\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003eKF40\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003ePurge Port\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003eKF10\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eCooling Method\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003eWater Cooling\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eCooling Water Flow Rate\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e2 L\/min\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eCooling Water Temperature\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e5°C to 25°C\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eCooling Water Pressure\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u0026lt; 0.3 MPa\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eWater Fitting Size\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003eRc 1\/4 (ISO Standard)\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eLubrication\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003eNone Required (Magnetically Levitated)\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eGas Compatibility\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003eN2, H2, Cl2, F2, and Process Gases (see manual for restrictions)\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eInstallation Orientation\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003eFree (Any Orientation)\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eController\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003eEdwards SCU-1600\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eInput Voltage\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e200–240 Vac, Single Phase, 50\/60 Hz\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eMax Input Power (Pump Only)\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e1,500 VA\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eRemote Interface\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003eI\/O Remote | RS-232 | RS-485\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eWeight\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e61 kg\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eAmbient Temp. Range\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e0°C to 40°C\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd width=\"213\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003e\u003cb\u003eCondition\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003ctd width=\"411\" valign=\"top\"\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" align=\"center\"\u003eUsed\u003c\/p\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003c\/tbody\u003e\n\u003c\/table\u003e\n\u003c\/div\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003c\/p\u003e","brand":"www.myvisionsurplus.com","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":52517850349849,"sku":"WIP SHELF","price":12000.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0257\/4565\/3857\/files\/IMG_0150-Photoroom.jpg?v=1781295426","url":"https:\/\/www-myvisionsurplus-com.myshopify.com\/products\/edwards-stp-a2203c2-turbomolecular-pump-2200-l-s-iso250f-inlet","provider":"www.myvisionsurplus.com","version":"1.0","type":"link"}